
多層式設計,有效捕捉顆粒,確保濾效穩定。
深層式結構,高容污量,使用壽命長。
高分子熔噴技術,纖維牢靠穩固,精準過濾。
有效通過工作顆粒,並精準攔截CMP Slurry較大顆粒。
通過NSF/ANSI 42認證。
型 式 | CMP熔噴一體成型濾芯 |
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材 質 | Polypropylene |
規 格 | 10, 20, 30 inch |
精 度 | 1, 3, 5, 7, 9, 11, 13 μm |
端 蓋 | 2-222平尾 |
操作範圍 | ΔP : 4.8 bar at 25℃ |
適用範圍 | CMP製程 |