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ろ    材 ポリプロピレン、PTFE
規    格 1/4", Ø8mm Swagelok, 三穴型
ろ過精度 0.05, 0.1, 0.2, 0.45, 1, 3, 5, 10 μm
操作範囲 △P : 3.9 bar at 25℃
主要用途 フォトレジスト