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메인 필터 Polypropylene, Hydrophobic PTFE, PVDF
규격 Ø57×75, Ø57×135, Ø67×123, Ø63×20, Ø60×15, Ø63×50, Ø60×45mm
외 별도 제작 가능
입자 제거 등급 0.1, 0.2, 0.45, 1, 3, 5, 10 μm
작용 조건 △P : 3.9 bar at 25℃、1.6 bar at 60℃、0.7 bar at 80℃
응용 분야 포토레지스트, 액정 여과 등